Optical/laser microlithography - 3-5 March 1993, San Jose, California
- Författare
- (John D. Cuthbert, chair/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1993 | USA | 2 vol. | ||
| Cop. 1993 | USA | 510 sidor. | 0-8194-1161-2 | |